分解能 ※1 Z (高さ) X,Y(平面) |
Z:0.01 nm ※2 X、Y:0.2 nm ※2 |
Z:10 nm (Sq 分解能 ※3:0.1 nm) X、Y:0.48 μm ※4 |
Z:10 nm (Sq 分解能 ※3:1 nm) X、Y:0.52 μm |
Z:0.02 μm ※6 X (横方向):0.1 μm ※7 |
測定領域 |
XY 0.5 × 0.5 μm ~ 100 × 100 μm |
XY 112 × 112 μm ~ 1.1 × 1.1 mm ※5 |
XY 129 × 129 μm ~ 1.2 × 1.2 mm ※5 |
X 0.15 ~ 150 mm |
最大 測定高さ |
15 μm |
10 mm |
2 mm |
400 μm |
特徴 |
- 高分解能(Å オーダー)
- ISO25178 準拠
- 広範囲・凹凸の大きい試料は測定不可
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- 非接触測定
- 膜厚・界面測定が可能
- ISO25178 準拠
- 急峻な形状には不向き
- 広範囲測定が得意
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- 非接触測定
- 膜厚・界面測定が可能
- ISO25178 準拠
- 急峻な形状も測定可能
- 光学観察が可能
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- 国際規格に準拠している(JIS、ISO)
- 柔らかい材質の場合には接触針により表面が傷つく
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