ICP質量分析 (ICP-MS)
Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry

概要


ICP-MS は誘導結合プラズマをイオン化源とする質量分析法である。
高温のアルゴンプラズマ中に試料溶液を導入し元素をイオン化させ、質量分析計により質量電荷比(m/z) に応じて分離、検出する分析手法である。



装置原理


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特徴


  • 大部分の金属元素が分析可能
  • 超高感度測定：ppb レベルを精度良く分析。条件により、ppt レベルの分析も可能
  • 多元素一斉分析が可能


分析事例


  • 樹脂材料中の微量金属分析 ( 不純物、触媒残渣、有害金属等)
  • 半導体向け樹脂材料の溶出微量金属分析
  • 有機溶媒中の微量金属分析


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