nano IR の空間分解能 (約 100 nm) を利用することで、従来の構造解析手法では困難とされていた厚さ数 100 nm のプライマー層の組成分析を可能とした。
nano IR では赤外吸収による熱膨張に伴う変位を検出し、100 nm 程度の分解能で組成分析とその分布を明らかにする
光学レンズ表面コートに存在する厚さ 560 nm のプライマー層を分析し、組成をウレタン変性アクリレートと推定した
【nano IRスペクトル】
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