情報電子分野では周辺材料から発生するガスが製品不良の原因となるケースがある。 そのため、ウェハを搬送する FOUP や SMIF ※ などの樹脂製容器をはじめ、微小な容器内面から発生する有機ガス成分分析のニーズは多い。これにはパッシブ法でのアウトガス分析が適している。
捕集法：パッシブ法（捕集体を分析対象物の中に置いて密閉状態で放置し捕集する） 分析機器：加熱脱着 - GC-MS 感度：0.1 ng (トルエン換算) ※FOUP：Front Opening Unified Pod SMIF：Standard of Mechanical Interface
検索番号：2009
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