微小空間内面のアウトガス分析

概要


情報電子分野では周辺材料から発生するガスが製品不良の原因となるケースがある。
そのため、ウェハを搬送する FOUP や SMIF ※ などの樹脂製容器をはじめ、微小な容器内面から発生する有機ガス成分分析のニーズは多い。これにはパッシブ法でのアウトガス分析が適している。


捕集法：パッシブ法（捕集体を分析対象物の中に置いて密閉状態で放置し捕集する）
分析機器：加熱脱着 - GC-MS
感度：0.1 ng (トルエン換算)

※FOUP：Front Opening Unified Pod
　SMIF：Standard of Mechanical Interface

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特徴


  • 高さ 4 mm 程度の微小空間内面の部材から発生するガス成分を分析できる。
  • 障害となるバックグラウンドピークがない。
  • 低沸成分から高沸成分まで高感度で分析できる。


測定例　容器内面から発生するアウトガスとブランクの分析結果


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検索番号：2009



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