加熱発生ガス分析　分析方法一覧

概要


加熱発生ガスの評価には、様々な手法がある。
分析の目的、試料の材質や形状等に合わせて最適な分析方法を選択することで、試料から発生する種々のガス成分を定性定量することができる。



分類 手法 感度 温度範囲
（℃）		 試料
形状		 測定例
定性定量 ヘッドスペース
GC／MS		 %
ppm		 50～190 液
固		 高分子の加熱発生ガス分析
残留溶媒の分析
TCT-GC/MS ppm
ppb		 ～350 気
固
TDS-MS ppm ～1000 固 ウエハの加熱発生ガス
高分子の加熱発生ガス
分解・定性 熱分解-GC/MS ppm ～800
（160～1040）		 液
固		 高分子の組成分析
TG-GC/MS % ～900 固 分解成分の重量変化と定性
TG-MS % ～900 固 分解成分の重量変化と
温度プロファイル
EGA-MS ppm ～800 液
固		 分解成分の温度プロファイル

※検出感度は試料の状態やガスの発生状況によって変化



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