概要
加熱発生ガスの評価には、様々な手法がある。
分析の目的、試料の材質や形状等に合わせて最適な分析方法を選択することで、試料から発生する種々のガス成分を定性定量することができる。
| 分類 |
手法 |
感度 |
温度範囲
（℃） |
試料
形状 |
測定例 |
| 定性定量 |
ヘッドスペース
GC／MS |
%
ppm |
50～190 |
液
固 |
高分子の加熱発生ガス分析
残留溶媒の分析 |
| TCT-GC/MS |
ppm
ppb |
～350 |
気
固 |
| TDS-MS |
ppm |
～1000 |
固 |
ウエハの加熱発生ガス
高分子の加熱発生ガス |
| 分解・定性 |
熱分解-GC/MS |
ppm |
～800
（160～1040） |
液
固 |
高分子の組成分析 |
| TG-GC/MS |
% |
～900 |
固 |
分解成分の重量変化と定性 |
| TG-MS |
% |
～900 |
固 |
分解成分の重量変化と
温度プロファイル |
| EGA-MS |
ppm |
～800 |
液
固 |
分解成分の温度プロファイル |
※検出感度は試料の状態やガスの発生状況によって変化