クリーンルーム大気の分析
（酸性・塩基性物質および金属成分の分析）

概要

半導体の高集積化にともない、クリーン化の対象としてクリーンルーム大気中の分子状汚染物質 (Airborne Molecular Contaminants：AMCs) が注目されている。
AMCs のうち「酸性・塩基性物質」と「金属成分」を、インピンジャー (捕集瓶) を用いて溶液吸収法で捕集して分析する。

分析手順

サンプリング 　　　　➡

吸収液を分析

【イオンクロマトグラフ】
酸性・塩基性物質を陰・陽イオンとして定量

【ＩＣＰ－ＭＳ】
金属成分を定量

※専用のサンプリングキットでサンプリングします

AMCs の管理レベル

※E : 付着係数 The International Technology Roadmap for Semiconductors : 2001

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