概要
半導体の高集積化にともない、クリーン化の対象としてクリーンルーム大気中の分子状汚染物質 (Airborne Molecular Contaminants：AMCs) が注目されている。
AMCs のうち「酸性・塩基性物質」と「金属成分」を、インピンジャー (捕集瓶) を用いて溶液吸収法で捕集して分析する。
分析手順
サンプリング ➡
吸収液を分析
【イオンクロマトグラフ】
酸性・塩基性物質を陰・陽イオンとして定量
【ＩＣＰ－ＭＳ】
金属成分を定量
※専用のサンプリングキットでサンプリングします
AMCs の管理レベル
| |
2003年 |
2005年 |
2007年 |
| DRAM 1/2 ピッチ (nm) |
100 |
80 |
65 |
| ウェーハ環境制御 |
|
|
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| 問題となるパーティクルサイズ (nm) |
52 |
38 |
33 |
| 問題となるサイズ以上のパーティクルの個数 (/m3) |
3 |
2 |
1 |
| 分子状汚染物質 : AMCs (pptM) |
|
|
|
| リングラフィ : 塩基性物質 (アミン、アミド、NH3) |
750 |
750 |
＜ 750 |
| ゲート : 金属 (CU、E = 2 × 10-5) |
0.15 |
0.1 |
＜ 0.07 |
| ゲート : 有機物 (分子量 : 250以上、E = 1 × 10-3) |
80 |
60 |
50 |
| 有機物 (as、CH4) |
1440 |
1100 |
＜ 900 |
| サリサイドコンタクト : 酸性物質 (Cl-、E = 1 × 10-3) |
10 |
10 |
＜ 10 |
| サリサイドコンタクト : 塩基性物質 (NH3、E = 1 × 10-6) |
12 |
8 |
＜ 4 |
| ドーパンド (P or B) |
＜ 10 |
＜ 10 |
＜ 10 |
※E : 付着係数 The International Technology Roadmap for Semiconductors : 2001