Arガスに高周波を印加して生成するArプラズマ (7000K 以上) 中に霧化した液体試料を導入し、プラズマ内で観測される発光を分光器で元素ごとに分光して、各元素の存在の有無 (定性) あるいは発光強度から濃度を測定する (定量)。
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