高塩濃度中の微量元素の定量

概要


  1. CMPで使用される研磨液中の微量金属／無機元素の定量における課題は、ケイ素などの主成分 (%レベル)による妨害ないし汚染です。
  2. 比較的汚染に強い発光分析法に発光検出のスループットを向上させた新型装置で 10 ppb までの微量元素を定量いたします。
  3. 分析手法 誘導結合プラズマ原子発光分析法 同軸方向観測型トーチ方式


新型トーチによるスループット


mcanac


mcanac


  1. 発光プラズマの観測ゾーンを従来の点（縦型）から横（横型）にすることによって、検出器に入るフォトン量を増加させることが可能になりました。
  2. 自己吸収などによるバックグランドの上昇もエアーナイフにより改善する工夫が施されています。


高塩濃度中の極微量元素の定量


高濃度塩：3%水酸化ナトリウム（模擬溶液）

  1. 極微量の無機／金属元素の定量にはICP-MS法が適用されるのが一般的だが、本系のようなパーセントレベルの成分が存在すると、検出系の汚染が深刻となり適用は極めて困難になる
  2. 上記の改善を加えた発光分析により下図に示したような定量下限を実現した


mcanac


検索番号：3013



本技術資料ダウンロード
お問い合わせはこちら
  • 　分析メニュー・事例



お問合せ

《CONTACT》

分析についてのご相談などお気軽にお問合せください。
弊社担当営業よりご案内させて頂きます。
WEBからのお問合せはこちらから。

  お問合せフォーム（別ウィンドウが開きます）     
📩

東日本営業グループ
TEL．03-6880-7695　FAX．03-6880-7696

〒104-0028  東京都中央区八重洲2-2-1 東京ミッドタウン八重洲  
八重洲セントラルタワー 17階


東海営業グループ
TEL．052-587-3617　FAX．052-587-3618

〒450-0003  愛知県名古屋市中村区名駅南1-24-30
（名古屋三井ビル本館）


西日本営業グループ
TEL．06-6446-2960　FAX．06-6446-2970

〒550-0004  大阪府大阪市西区靭本町1-11-7
（信濃橋三井ビル）


西日本営業グループ（岩国営業チーム）
TEL．0827-53-9190　FAX．0827-53-8894

〒740-0061  山口県玖珂郡和木町和木6-1-2



 ▶ホーム 

 ▶プライバシーポリシー 
mcanac mci


Copyright © MITSUI CHEMICAL ANALYSIS & CONSULTING SERVICE, INC. All Rights Reserved.