多層膜の金属汚染分析

概要


多層膜を 1層ずつ溶解して、各層の金属汚染を分析する

  • 分析法：誘導結合プラズマ質量分析法 (ICP-MS法)
  • 検出レベル : 5 × 108 atoms / cm2

ポイント

  • 処理液の種類・濃度を最適化し、多層膜を 1層ずつ溶解する技術を開発
  • 内部標準法による高感度定量を実現


多層膜の分析例


　Al　　　　　　　 ← 処理液　A
SiO2 ← 処理液　B
poly-Si ← 処理液　C
SiO2 ← 処理液　B
Siウェーハ
  • 材料に応じた処理液を選択し、１層ずつ溶解する
  • 処理液には内部標準を添加しておく


処理液の開発例（α-Si膜の溶解）


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