多層膜の金属汚染分析の前処理
(層別溶解)

概要


poly-Si膜 と SiO2膜 からなる多層膜において、溶解液を使い分けることによって、各層を選択的かつ均一に溶解できることを確認した。多層膜の各層の金属汚染を誘導結合プラズマ質量分析法 (ICP-MS法) で分析する際の前処理として用いることができる。



実験


mcanac

  • 図の構成の２層膜を次の２通りで溶解した。
    • Ａ：新規開発液とフッ酸で溶解
    Ｂ：フッ硝酸（フッ酸と硝酸の混合液）で溶解
    　※フッ硝酸はpoly-Si膜の一般的な溶解液

  • 溶解処理後、走査電子顕微鏡 (SEM) で断面を観察し、走査型プローブ顕微鏡 (SPM) で表面粗さを測定した。


結果


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