太陽電池用シリコンの不純物分析

概要

シリコン結晶を溶解させ、結晶中の不純物濃度分析をおこないます。
今回ご紹介する分析法は、誘導結合プラズマ質量分析 (ICP-MS) です。

前処理

• シリコン結晶に酸を加えて完全に溶液化させることで、含有不純物の濃度分析をおこなう

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• 特殊な前処理法を採用することで、揮発性の高いホウ素についてもケイ素の影響を排除し、回収率よく分析することを可能にした

測定装置と定量下限値

四重極型の ICP-MS では多原子イオンの干渉 (¹⁵N¹⁶O、¹⁴N¹⁶O¹H) によりリンの微量分析は困難だが、高分解能の ICP-MS を用いることで、多原子イオンを分離できるため、リンの微量分析が可能となる。

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