電界放出型 走査型電子顕微鏡
FE-SEM (Field Emission Scanning Electron Microscope)

原理


mcanac
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特長


  • 最表面情報を、無蒸着でチャージアップなしで観察可能

  • 低加速電圧 (1kV) においては 4.0 nm、15 kV においては 1.5 nm の高分解能

  • EDS分析装置を付属

  • 大型ウェハーなどに対応する6インチ径の大型試料交換室

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太陽電池断面
加速電圧5kV、無蒸着
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PP破断面
加速電圧0.6kV、無蒸着



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