原理・特徴
光学顕微鏡に於ける光と光学レンズの代わりに、電子線と電子レンズ（磁界レンズ）を用いて、蛍光板（フィルム）に試料の拡大像を結像し、物質の形状及び内部構造を観察・撮影する装置。又、電子線回折により結晶性試料の結晶構造を評価できる。
仕様
| JEM-100CX | H-7000 | |
|---|---|---|
| 加速電圧 | 20 ～ 100 kV | 25 ～ 125 kV |
| 倍率 | ×100 ～ 800,000 | ×50 ～ 600,000 |
| 線分解能 | 0.140 nm | 0.204 nm |
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