光学顕微鏡に於ける光と光学レンズの代わりに、電子線と電子レンズ(磁界レンズ)を用いて、蛍光板(フィルム)に試料の拡大像を結像し、物質の形状及び内部構造を観察・撮影する装置。又、電子線回折により結晶性試料の結晶構造を評価できる。
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