有機ＥＬパネルの断面観察

概要


有機ELパネルは、ガラス基板、透明導電膜、有機層 (ホール輸送層、発光層、電子注入層など)、金属電極などから構成されています。FIB-TEM (収束イオンビームによる薄片の作成と透過電子顕微鏡による観察)を 用いることでこれらの層を観察することができます。



観察例


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有機ELパネルの断面観察



  • 断面TEM観察から、有機層が複数の層で構成されているのが分かります。また、金属電極の結晶粒界が認められます。
  • 不良デバイス等では、FIBで不良部分を局所的に断面加工することにより、どのプロセスに問題があるのか推定することができます。


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