角度可変XPS分析法による有機物表面の分析

概要


角度可変ＸＰＳ分析法を有機物表面の分析に適用し、オーバーコートの組成、厚さを同時に分析する。

  • 分析試料　ポリエステル上に脂肪酸エステル（オーバーコート）層を持つ 2層試料
  • 分析手法　可変Ｘ線光電子分光 (AR-XPS) 法
  • 解析手法　光電子強度をポリエステル､脂肪酸エステル層からの寄与に分離し、脂肪酸エステル (オーバーコート) 層の組成、厚さを推測。


角度可変XPS分析法の原理


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脂肪酸エステル層の分析結果


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検出角度に対する組成、
厚さの変化をプロット

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交点より組成、厚さを求めます。
(脂肪酸エステル屠の組成と厚さ)



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