TDS-MS による半導体の分析 (1)

概要


昇温脱離質量分析 (TDS-MS) 法により半導体中の微量成分を分析する。

分析試料：Si上にコートした無機系SOG (Spin On Glass) 膜

分析手法：昇温脱離質量分析法によるSOG膜中に存在する残留揮発分を分析する。
     分析装置： EMD-WA1000S (タンデム排気仕様)
     分析条件： 温度範囲 (室温 ～ 1000 ℃)、昇温速度 (60 ℃ / min)
          測定質量数 (2、15、16、17、18、27、28、44)



●SOG膜のTDS分析結果 (全質量数)

mcanac


●TDS測定系の模式図

mcanac


●ＳＯＧ膜のTDS分析（水素）

mcanac




ピーク面積より水素量を定量

ピーク 極大温度 定量値 / cm-2
① 230 ℃ 1.4 × 10 14
② 380 ℃ 5.0 × 10 14
③ 570 ℃ 7.8 × 10 14


●水素の脱離ピークが異なる温度に３種存在（膜中で水素の状態が複数存在）
●各状態（脱離温度）別に水素量を定量




検索番号：4032



本技術資料ダウンロード
お問い合わせはこちら
  • 　分析メニュー・事例



お問合せ

《CONTACT》

分析についてのご相談などお気軽にお問合せください。
弊社担当営業よりご案内させて頂きます。
WEBからのお問合せはこちらから。

  お問合せフォーム（別ウィンドウが開きます）     
📩

東日本営業グループ
TEL．03-6880-7695　FAX．03-6880-7696

〒104-0028  東京都中央区八重洲2-2-1 東京ミッドタウン八重洲  
八重洲セントラルタワー 17階


東海営業グループ
TEL．052-587-3617　FAX．052-587-3618

〒450-0003  愛知県名古屋市中村区名駅南1-24-30
（名古屋三井ビル本館）


西日本営業グループ
TEL．06-6446-2960　FAX．06-6446-2970

〒550-0004  大阪府大阪市西区靭本町1-11-7
（信濃橋三井ビル）


西日本営業グループ（岩国営業チーム）
TEL．0827-53-9190　FAX．0827-53-8894

〒740-0061  山口県玖珂郡和木町和木6-1-2

 ▶ホーム 

 ▶プライバシーポリシー 
mcanac mci


Copyright © MITSUI CHEMICAL ANALYSIS & CONSULTING SERVICE, INC. All Rights Reserved.