分解能
Z (高さ)
X,Y (平面)
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Z：0.01 nm
X,Y：0.2 nm |
Z：0.1 nm
X,Y：1 μm 程度 |
Z：5 nm
X,Y：120 nm |
Z：0.02 μm(1)
X (横方向)：0.1 μm |
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測定領域
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XY
0.5 × 0.5 μm
～ 150 × 150 μm |
XY
0.06 × 0.04 mm
～ 4.9 × 3.7 mm |
XY
16 × 16 μm
～ 640 × 640 μm(2) |
X
0.15 ～ 150 mm
送りピッチ(Y方向)
1 μm ～ 10 mm |
最大可動
Ｚ（高さ）
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15 μm |
1 mm |
1 mm |
400 μm |
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特徴
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●高分解能
(Åオーダー)
●広範囲・凹凸の大きい試料は測定不可
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●非接触測定
●広範囲・凹凸の大きい試料も測定可能
●急峻な形状には不向き
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●非接触測定
●急峻な形状測定に強い、XY分解能が高い(WYKOに比べ)
●Z分解能が低い・測定面積が狭い(WYKOに比べ)
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●国際規格に準拠している(JIS,ISO)
●接触針により表面が傷つく
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