SEM-EDS による軽元素 (C、N、O、F) の分布評価
-分解能が従来の10倍以上に向上-

概要


最新型高感度EDS検出器を導入し、低加速電圧 (1kV～) で SEM-EDS の軽元素マッピングが可能となった。
空間分解能が劇的に向上し、高分子などの低密度材料においても 50nm 以下の空間分解能で元素分布評価ができるようになった。



通常EDSとの違い


ポールピースとサンプルとの間に検出素子があるため、従来より高角度で特性Ｘ線を取り込むことが可能
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分析領域広がりの加速電圧依存性


（高分子など低密度材料の場合）

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低加速電圧測定で空間分解能と
検出深さが劇的に向上



分析例 Liイオン電池 電極材料


数十nmスケールでC、O、F分布がわかる

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加速電圧：1.5kV　測定時間：180秒


検索番号：4044



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