高感度(10倍以上)・高分解能(50nm)元素分布評価
-SEM-EDS-

概要


最新型高感度EDS検出器により、低加速電圧 ( 1 kV ～ ) で SEM-EDS の軽元素マッピングが可能になった。空間分解能が大幅に向上し、高分子などの低密度材料においても 50 nm 以下の空間分解能で元素分布評価が可能になった。



分析例①
電子デバイス用エポキシ樹脂中のアミン系硬化剤成分


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分析例②
リチウムイオン二次電池 正極材料のカーボンブラック (CB) とバインダーの分布


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分析例③
食品包装材ガスバリア層の高分解能元素分布分析


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