高分子材料はC, N, O, F などの軽元素で構成され、低密度な材料であることから、従来のSEM-EDS法 (加速電圧 5kV 以上で測定) ではミクロンオーダー以下元素分布を評価することができなかった。最新型高感度EDS検出器を用いて低加速電圧 (加速電圧 5kV 以下) 測定することにより、高分子の接合界面をナノオーダーのサイズで評価することができる。
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