TDS-MSは高真空下で昇温させながら、脱離成分を質量分析計で高感度で検出することができる。昇温しながらの測定なので、各温度での脱離成分を比較することができる。 高真空下で熱がかかる状態での使用が想定される高機能樹脂製品の評価に最適である。 分析対象は、半導体ならびにディスプレイの製造プロセスで使用する樹脂素材やその製造装置の樹脂製構成部材等があげられる。
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