極めて微量の異物分析には、高感度、高空間分解能解析、分析深さが浅い TOF-SIMS が有効である。表面に存在する微量成分の分子構造に対応した分子イオンやフラグメント情報が得られるほか、イメージングにより元素や分子の分布情報を得ることができる。
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