三次元形態観察と画像解析
3D-TEM、3D-SEM、X線CT

概要


材料の立体構造（分散状態、接合状態、欠陥等）を三次元で観察が可能。三次元形態情報に加え、画像解析により長さ、粒子径、分布、体積、表面積、フィラー間距離等の定量的評価もできる。
弊社は試料サイズ、目的に対し最適な装置で対象物を三次元で可視化する。



  3D-TEM 3D-SEM X線CT
測定領域 nm ～ μm μm ～ 数十 μm 数十 μm ～ cm
三次元
再構築法		 超薄切片を傾斜させながら透過電子像を撮影これらの画像を再構築 イオンビームで作製した断面をSEMにより撮影この繰り返しで得た画像を再構築 入射X線に対し、様々な角度で透過X線像を撮影これらの画像を再構築
特徴
  • ナノオーダーの精緻な像取得
  • ミクロンオーダーでの広域観察
  • クライオ加工による試料ダメージ軽減
 非破壊測定
対象例
  • 触媒の担持金属の分散状態
  • アロイ相構造の分散、界面状態
  • ポリマー中のナノ粒子分散状態
  • 異種材料接合界面
  • LiB電極内部の空隙状態
  • 微多孔膜
  • 金属の結晶粒のサイズ観察
  • ワイヤーボンディング接合面の立体観察
  • 繊維強化樹脂のフィラー分散状態
  • リチウムイオン電池内部構造
  • 成形品内ボイド

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