大型試料仕様の測定では、ワーキングサイズ (測定装置に入れられる試料サイズ上限):70 mmφ × 90 mm 観察エリアサイズ (3D測定できるエリアサイズ上限):70 mmφ × 35 mm 程度まで観測でき、ピクセル分解能は 5 μm / voxcel ~ 144 μm / voxcel となる。 電子デバイスを非破壊で観察可能であり、電池積層構造、成形品のボイドなど成形不良の解析に有効である。
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