コーティング処理面の状態解析
-XPSおよびTOF-SIMS-

概要

表面機能や接着機能を向上させる上で、表面状態を解析することは非常に重要である。表面分析装置として XPS は元素組成、化学結合情報が得られるのに対し、TOF-SIMS は元素、分子構造情報が得られる。また得られる深さ情報も異なり、前者が 5 ～ 6 nm に対し、後者は 1 ～ 2 nm となる。特徴の異なる両装置を用い、市販滑水コート剤の表面解析した事例を紹介する。

試料

市販の滑水コート剤 (市販品 A、市販品 B) を塗布したシリコンウエハ
水の滑落角 市販品 A 32°、市販品 B 61°

XPS測定

試料	Atomic%
	C	O	Si	Ca
市販品 A	15.5	27.8	56.7	ー
市販品 B	30.4	26.6	42.7	0.3

TOF-SIMS測定

解析から推測する滑水コート剤塗布イメージ

検索番号：4087