表面粗さ測定

概要


接着性や光沢、摺動性などの物性を理解するうえで、表面粗さは重要である。
弊社では、複数の表面粗さ測定法から、目的に応じて最適な手法を選択することが可能である。
本資料では表面粗さ測定法の特徴と測定事例をまとめた。



各種表面粗さ測定法の特徴


  走査型プローブ顕微鏡
(SPM)		 白色干渉顕微鏡 レーザー顕微鏡
(LSM)		 表面粗さ計
(接触針法)
分解能 ※1
Z (高さ)
X,Y(平面)		 Z：0.01 nm ※2
X、Y：0.2 nm ※2		 Z：10 nm
(Sq 分解能 ※3：0.1 nm)
X、Y：0.48 μm ※4		 Z：10 nm
(Sq 分解能 ※3：1 nm)
X、Y：0.52 μm		 Z：0.02 μm ※6
X (横方向)：0.1 μm ※7
測定領域 XY
0.5 × 0.5 μm
～ 100 × 100 μm		 XY
112 × 112 μm
～ 1.1 × 1.1 mm ※5		 XY
129 × 129 μm
～ 1.2 × 1.2 mm ※5		 X
0.15 ～ 150 mm
最大
測定高さ		 15 μm 10 mm 2 mm 400 μm
特徴
  • 高分解能(Å オーダー)
  • ISO25178 準拠
  • 広範囲・凹凸の大きい試料は測定不可
  • 非接触測定
  • 膜厚・界面測定が可能
  • ISO25178 準拠
  • 急峻な形状には不向き
  • 広範囲測定が得意
  • 非接触測定
  • 膜厚・界面測定が可能
  • ISO25178 準拠
  • 急峻な形状も測定可能
  • 光学観察が可能
  • 国際規格に準拠している(JIS、ISO)
  • 柔らかい材質の場合には接触針により表面が傷つく

※1 サンプルや測定条件等によって、記載の分解能を満たせない場合があります　※2 理論分解能　※3 Sq：二乗平均平方根高さ　※4 Abbe の分解能　※5 貼り合わせによる拡大可能　※6 800μm 計測時の分解能　※7 100mm 計測時の分解能（倍率により変動）



測定事例


SPM
表面処理後の
シリコンウェハ
mcanac
軸スケール
Z：50 nm
X、Y：2 μm
nm オーダーの
微細な構造を
測定可能
白色干渉顕微鏡
スマートフォン
保護フィルム
mcanac
軸スケール
Z：2 μm
X、Y：556 μm
広視野(数百 μm ～)
の凹凸や形状を
測定可能
レーザー顕微鏡
研磨紙

mcanac
軸スケール
Z：50 μm
X、Y：約260 μm
高低差が大きく
急峻な表面を
測定可能
表面粗さ計
ダンボール

mcanac
軸スケール
Z：125 μm
X：34 mm
mm ～の長距離の
表面形状を測定可能


検索番号：4106



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