接着性や光沢、摺動性などの物性を理解するうえで、表面粗さは重要である。
弊社では、複数の表面粗さ測定法から、目的に応じて最適な手法を選択することが可能である。
本資料では表面粗さ測定法の特徴と測定事例をまとめた。
走査型プローブ顕微鏡 (SPM) |
白色干渉顕微鏡 | レーザー顕微鏡 (LSM) |
表面粗さ計 (接触針法) |
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分解能 ※1 Z (高さ) X,Y(平面) |
Z:0.01 nm ※2 X、Y:0.2 nm ※2 |
Z:10 nm (Sq 分解能 ※3:0.1 nm) X、Y:0.48 μm ※4 |
Z:10 nm (Sq 分解能 ※3:1 nm) X、Y:0.52 μm |
Z:0.02 μm ※6 X (横方向):0.1 μm ※7 |
測定領域 | XY 0.5 × 0.5 μm ~ 100 × 100 μm |
XY 112 × 112 μm ~ 1.1 × 1.1 mm ※5 |
XY 129 × 129 μm ~ 1.2 × 1.2 mm ※5 |
X 0.15 ~ 150 mm |
最大 測定高さ |
15 μm | 10 mm | 2 mm | 400 μm |
特徴 |
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※1 サンプルや測定条件等によって、記載の分解能を満たせない場合があります ※2 理論分解能 ※3 Sq:二乗平均平方根高さ ※4 Abbe の分解能 ※5 貼り合わせによる拡大可能 ※6 800μm 計測時の分解能 ※7 100mm 計測時の分解能(倍率により変動)
検索番号:4106
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