概要
接着性や光沢、摺動性などの物性を理解するうえで、表面粗さは重要である。
弊社では、複数の表面粗さ測定法から、目的に応じて最適な手法を選択することが可能である。
本資料では表面粗さ測定法の特徴と測定事例をまとめた。
各種表面粗さ測定法の特徴
| 走査型プローブ顕微鏡 (SPM) |
白色干渉顕微鏡 | レーザー顕微鏡 (LSM) |
表面粗さ計 (接触針法) |
|
|---|---|---|---|---|
| 分解能 ※1 Z (高さ) X,Y(平面) |
Z：0.01 nm ※2 X、Y：0.2 nm ※2 |
Z：10 nm (Sq 分解能 ※3：0.1 nm) X、Y：0.48 μm ※4 |
Z：10 nm (Sq 分解能 ※3：1 nm) X、Y：0.52 μm |
Z：0.02 μm ※6 X (横方向)：0.1 μm ※7 |
| 測定領域 | XY 0.5 × 0.5 μm ～ 100 × 100 μm |
XY 112 × 112 μm ～ 1.1 × 1.1 mm ※5 |
XY 129 × 129 μm ～ 1.2 × 1.2 mm ※5 |
X 0.15 ～ 150 mm |
| 最大 測定高さ |
15 μm | 10 mm | 2 mm | 400 μm |
| 特徴 |
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※1 サンプルや測定条件等によって、記載の分解能を満たせない場合があります ※2 理論分解能 ※3 Sq：二乗平均平方根高さ ※4 Abbe の分解能 ※5 貼り合わせによる拡大可能 ※6 800μm 計測時の分解能 ※7 100mm 計測時の分解能（倍率により変動）
測定事例
表面処理後の
シリコンウェハ
Z：50 nm
X、Y：2 μm
微細な構造を
測定可能
スマートフォン
保護フィルム
Z：2 μm
X、Y：556 μm
の凹凸や形状を
測定可能
研磨紙
Z：50 μm
X、Y：約260 μm
急峻な表面を
測定可能
ダンボール
Z：125 μm
X：34 mm
表面形状を測定可能
検索番号：4106
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