レーザー顕微鏡による非接触三次元計測

概要

試料に対してレーザー光を走査し反射光を検出することで、非接触で表面の形状を三次元計測することができる。三次元データを統計処理することで、凹凸の大きさや表面の粗さなどを定量的に評価できる。

原理

試料表面にレーザー光を照射し、共焦点ピンホールによって焦点が合った箇所からの反射光を選択的に検出する。試料と対物レンズとの距離を変えながらレーザー光を平面方向に走査することで、非接触で三次元形状を得ることができる。

特徴

● サブμm オーダーの水平・垂直方向の分解能
● ISO 25178 に基づく各種面粗さパラメータの数値化
● 130 μm ～ 10 mm 角程度の幅広い測定視野

研磨紙の凹凸形状の評価

試料：① 粗い研磨紙 (P1200)、② 細かい研磨紙 (P4000)

形状像(3D)

面粗さパラメータ

①粗い研磨紙 は ②細かい研磨紙 に比べ、最大高低差 (Sz) が 2 倍程度大きく、凹凸の大きさ (Sa) も大きい

形状像に加え、粗さパラメータによる表面形状の定量的な評価が可能

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