概要
試料表面に圧子をマイクロメートルオーダーで押し込み、試験荷重と押し込み深さを測定することで、極表面の物性 (硬さ、弾性率) の評価ができる。
原理
仕様
試験荷重範囲 ：0.1 mN ～ 1961 mN
押し込み深さ範囲：0.1 μm ～ 10 μm
ダイヤモンド圧子：三角錐圧子（稜間角 115°、Berkovich 型）
顕微鏡倍率：500 倍（対物 50 倍、接眼 10 倍）
硬さ
負荷過程及び保持時間が終了したときの試験荷重 (P) と押し込み深さ (D) から算出される硬さ (= 3.8584・P / D
2)
弾性率
除荷過程における初期の弾性回復の傾きから評価
超微小硬度計による評価例
超微小硬度計によりマイクロメートルオーダーの試料表面の硬さと弾性率の評価ができる
・金属材料から高分子材料まで幅広い材料に対応
・破壊の割合が小さく、製品の一部にて測定が可能