高分子薄膜の電気特性評価

概要

微小領域の高分子薄膜の絶縁抵抗測定がプローブを用いることで可能となった。
顕微鏡での観察下、必要な場所にプロービングでコンタクトした後、直流電圧を加え、サンプル内を通過した微小電流を計測することで、Ｉ－Ｖ特性、抵抗、絶縁破壊電圧を知ることができる。
（例：有機絶縁膜の微小電流測定及び絶縁破壊電圧測定）

測定概略図と測定例

試験条件例

導電性に高い基盤（例：AsドープSiウェハ）上に測定する高分子薄膜を塗布したサンプルをご準備ください

ご希望の試験条件があれば対応致しますので、お気軽にお問合せ下さい

検索番号：6g011